ASML发布火灾评估报告:DUV组件已恢复生产EUV区域仍在抢修
日前,ASML发布公告,提供了1月3日在德国柏林的部分工厂内发生火灾的初步评估报告 根据报告,该工厂DUV组件已经恢复生产,但EUV生产区域仍在抢修,尚未恢复生产
报告显示,火灾发生在柏林现场的一栋生产大楼的局部位置,火灾产生的烟雾部分影响了相邻大楼公司已经能够在这些建筑物的部分地区恢复生产,现场的其他建筑物没有受到影响,并已全面投入使用
ASML表示,公司目前对此次火灾产生的影响评估观点如下:
1,公司的计量和检验输出计划不受影响,因为它们不包含柏林制造的任何组件,
2,DUV组件的制造已重新启动,尽管DUV的组件出现了一些中断,但公司正在进行补救,争取对DUV的产量和收入计划不产生影响。
3,EUV方面,火灾影响了EUV系统中的一个模块晶圆夹具的部分生产区域公司仍在完成该生产区域的恢复计划,并确定如何最大限度地减少对EUV客户的任何潜在影响,无论是在公司的输出计划还是在我们的现场服务中
其他数据方面,第三季度毛利率为57%,较上一季度提高0.8pct,新增订单额为679亿欧元,较上一季度下降23%,其中29亿欧元为EUV光刻机订单。
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